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高纯氦气是通过精馏法或膜分离法生产的。精馏法是将氦气和其他气体混合物在精馏塔中进行多次蒸馏，通过控制温度和压力，将氦气与其他气体分离。膜分离法则是利用不同气体在膜上的渗透速率不同，通过控制膜的渗透速率，将氦气与其他气体分离。这些方法可以将氦气的纯度提高到99.999%以上，满足各种高精度应用的需求。
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